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低壓條件下高靈敏度拉壓式傳感器的設計與應用

來源：上海自動化儀表有限公司作者：發(fā)表時間：2018-12-26 08:50:29【小中大】

      如今，環(huán)境問題和氣候變化是一個巨大的全球性問題，拉壓式傳感器在環(huán)境監(jiān)測中發(fā)揮著至關重要的作用。這種傳感器在各種研究項目中具有廣泛的應用，并且還被氣象站廣泛使用?？梢詸z測最微小壓力變化的高質量低壓傳感器安裝在測量高壓大氣壓的無線電探空儀中。類似地，這種拉壓式傳感器可以檢測由于高度變化引起的低壓變化。它們非常精密，即使在樓梯間，它們也可以根據(jù)高度變化讀取壓力變化的變化！上海自動化儀表有限公司拉壓式傳感器還可用于精確測量3D導航和空間定向中的低壓變化。
 
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不同類型的拉壓式傳感器
      隨著微機電系統(tǒng)（MEMS）的發(fā)展，市場上已經(jīng)引入了不同型號的基于MEMS的低壓傳感器。根據(jù)它們使用的原理，壓力傳感器可以采用拉壓式，諧振式，電容式等形式。在所有這些中，拉壓式傳感器是最受歡迎和廣泛使用的。這是因為它們具有顯著的優(yōu)點，例如對壓力變化的最低變化的高靈敏度，準確的讀數(shù)，可重復性和出色的線性度。當器件暴露在環(huán)境中時，這些器件基于壓敏電阻器低壓傳感器的電阻來記錄壓力。
拉壓式傳感器傳感器配置
      上海自動化儀表有限公司這種類型的傳感器具有四個壓電電阻器，方形膜和膜上的橫梁。該梁包括三層，即硅層，鋁層和隔離層。四個壓電電阻器嵌入硅層中。
      在所使用的四個壓阻傳感器中，兩個垂直地位于膜的兩側。當膜暴露于增加的壓力時，它們檢測到壓力的變化，因為它們的阻力增加。
      另外兩個壓電電阻器與膜平行，它們的電阻隨著壓力的增加而減小。四個壓電電阻通過電橋連接。
拉壓式傳感器的應用
      除了廣泛用于測量大氣和高海拔的低壓變化外，拉壓式傳感器還有其他幾種應用。
      這種低壓傳感器廣泛用于醫(yī)療應用中，用于測量體內的超低血壓波動。
      它們還用于測量使用觸摸技術或采用敏感E-skin技術設計的低壓變化（特別是低于100 Pa）。
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